Μικροθερμές πλάκες MEMS βασισμένες σε πλευρική σύνθετη διηλεκτρική μεμβράνη και τη μέθοδο κατασκευής της και στοιχεία τεχνικής υλοποίησης

Τεχνικά στοιχεία υλοποίησης:

4. Εν όψει των παραπάνω τεχνικών προβλημάτων, η παρούσα εφεύρεση παρέχει μια μικροθερμική πλάκα mems που βασίζεται σε μια εγκάρσια σύνθετη διηλεκτρική μεμβράνη και μια μέθοδο κατασκευής αυτής.

5. Ο σκοπός της παρούσας εφεύρεσης είναι να παρέχει μια επίπεδης τύπου μικροθερμική πλάκα με χαμηλή απώλεια πλευρικής αγωγιμότητας θερμότητας, υψηλή απόδοση κατανάλωσης ενέργειας της μικροθερμής πλάκας και χαμηλή μηχανική παραμόρφωση που προκαλείται από θερμική καταπόνηση, η οποία ικανοποιεί τις απαιτήσεις όπως π.χ. όπως χαμηλή κατανάλωση ενέργειας, χαμηλή παραμόρφωση, υψηλές απαιτήσεις σταθερότητας και αξιοπιστίας.

6. το τεχνικό σχήμα που η παρούσα εφεύρεση επιλύει το προαναφερθέν τεχνικό πρόβλημα είναι το εξής:

7. Μια μικροθερμή πλάκα mems βασισμένη σε ένα εγκάρσιο σύνθετο διηλεκτρικό φιλμ, η μικροθερμή πλάκα που περιλαμβάνει ένα σύνθετο διηλεκτρικό στρώμα, ένα υπόστρωμα με βάση το πυρίτιο, ένα στρώμα στήριξης απομόνωσης, ένα θερμαντικό ηλεκτρόδιο, ένα ηλεκτρόδιο σήματος και ένα επίθεμα, και μια περιοχή χαρακτικής πλάτης.

8. Το υπόστρωμα με βάση το πυρίτιο είναι μια βάση για την κατασκευή μιας μικροθερμής πλάκας.

9. Το στρώμα στήριξης απομόνωσης βρίσκεται πάνω από το υπόστρωμα με βάση το πυρίτιο, χρησιμοποιείται για μόνωση, μείωση της απώλειας θερμότητας και για υποστήριξη της περιοχής θέρμανσης του ηλεκτροδίου και της περιοχής μέτρησης σήματος.

10. Το ηλεκτρόδιο θέρμανσης είναι διατεταγμένο πάνω από το στρώμα στήριξης απομόνωσης και το ηλεκτρόδιο θέρμανσης δημιουργεί μια περιοχή θέρμανσης για να παρέχει την απαιτούμενη θερμοκρασία εργασίας για τη μικροθερμική πλάκα.

Επικοινωνήστε μαζί μας:

Email: zhang@pride-cnc.com

Τηλ: συν 86-755-23699351

Mob: συν 8618666663894