Μέθοδος κατασκευής συσκευής MEMS

τεχνικός τομέας

1. Η παρούσα αποκάλυψη σχετίζεται με μια συσκευή mems με βελτιωμένη κατανομή τάσεων.

Τεχνική παρασκηνίου:

2. Όπως είναι γνωστό, ηλεκτρονικές συσκευές mems ("Micro Electro Mechanical Systems"), όπως ενεργοποιητές και/ή αισθητήρες, σχηματίζονται τυπικά σε ένα υπόστρωμα που στεγάζει μια κοιλότητα και περιλαμβάνουν κινητές δομές αναρτημένες από την άνω κοιλότητα και περιορισμένες από το ελαστικό στοιχείο στη σταθερή περιοχή. Το υπόστρωμα, η κινητή δομή και το ελαστικό στοιχείο μπορεί να είναι ενσωματωμένα και τυπικά σχηματίζονται από ένα ημιαγωγό υλικό όπως το πυρίτιο.

3. Αυτές οι ηλεκτρονικές συσκευές περιλαμβάνουν επίσης: μία ή περισσότερες δομές ενεργοποίησης και/ή ανίχνευσης, συνδεδεμένες με την κινητή δομή. και ηλεκτρικά κυκλώματα ελέγχου, ενσωματωμένα στο ίδιο υπόστρωμα ή σχηματισμένα σε διαφορετικά υποστρώματα και η σύζευξη με τη δομή ενεργοποίησης ή/και ανίχνευσης μπορεί να παρέχει ηλεκτρικά σήματα κίνησης στη δομή ενεργοποίησης και/ή να λαμβάνουν ηλεκτρικά σήματα ανίχνευσης από τη δομή ανίχνευσης.

4. Αναλυτικά, η δομή ενεργοποίησης μπορεί να προκαλέσει μετατόπιση, π.χ. περιστροφή, της κινητής κατασκευής όταν ελέγχεται από ένα αντίστοιχο ηλεκτρικό σήμα κίνησης. Παρομοίως, η δομή ανίχνευσης είναι διαμορφωμένη ώστε να παράγει αντίστοιχα ηλεκτρικά σήματα που είναι συνάρτηση των συνθηκών λειτουργίας της κινητής κατασκευής και για παράδειγμα, συνάρτηση του εύρους περιστροφής της κινητής κατασκευής.

5. Το ηλεκτρικό κύκλωμα ελέγχου και η δομή ενεργοποίησης και/ή ανίχνευσης συνδέονται συνήθως ηλεκτρικά μεταξύ τους με αγώγιμες τροχιές, π.χ. σχηματισμένες από μια στοίβα αγώγιμων στρωμάτων.

6. Οι αγώγιμες ράγες εκτείνονται γενικά σε σταθερές περιοχές, ελαστικά στοιχεία και μερικές φορές εν μέρει πάνω από κινητές κατασκευές.

7. Κατά τη χρήση, η μετατόπιση της κινητής κατασκευής οδηγεί σε παραμόρφωση, π.χ. συστροφή, των ελαστικών στοιχείων που περιορίζουν την κινητή κατασκευή στη σταθερή περιοχή.

Επικοινωνήστε μαζί μας:

Email: zhang@pride-cnc.com

Τηλ: συν 86-755-23699351

Mob: συν 8618666663894