Μικροηλεκτρομηχανική συσκευή και μέθοδος κατασκευής της και τεχνικά στοιχεία υλοποίησης

Τεχνικά στοιχεία υλοποίησης:

4. Εν όψει των ανωτέρω προβλημάτων, προτείνεται η παρούσα εφεύρεση. Η παρούσα εφεύρεση παρέχει μια νέα δομή συσκευής mems, η οποία μπορεί να αποφύγει τη χρήση δοκών προβόλου, έχει μεγαλύτερη ανθεκτικότητα και έχει μια απλούστερη δομή. Η παρούσα εφεύρεση παρέχει επίσης μια νέα μέθοδο κατασκευής της συσκευής mems, η οποία έχει απλά βήματα διαδικασίας και μπορεί να βελτιώσει την απόδοση κατασκευής.

5. Σύμφωνα με μια παραδειγματική υλοποίηση, μια μικροηλεκτρομηχανική συσκευή μπορεί να περιλαμβάνει: ένα μονωτικό υπόστρωμα. ένας στύλος στήριξης τοποθετημένος στο υπόστρωμα, ο στύλος στήριξης που υποστηρίζει μια μάζα απόδειξης. που περιβάλλει το υπόστρωμα στο υπόστρωμα Ένα ή περισσότερα ζεύγη πλακών ηλεκτροδίων διατεταγμένα στο μπλοκ μάζας, κάθε ζεύγος πλακών ηλεκτροδίων είναι διατεταγμένο σε αντίθετες πλευρές του μπλοκ μάζας. και μια μονωτική πλάκα κάλυψης, στην οποία είναι τοποθετημένο ένα ζεύγος πλακών ηλεκτροδίων που αντιστοιχεί στο ένα ή περισσότερα ζεύγη πλακών ηλεκτροδίων ή πολλαπλά ζεύγη ηλεκτροδίων, όταν η πλάκα κάλυψης καλύπτει το ένα ή περισσότερα ζεύγη πλακών ηλεκτροδίων, το ένα ή περισσότερα ζεύγη των ηλεκτροδίων είναι αντίστοιχα σε ηλεκτρική επαφή με ένα ή περισσότερα ζεύγη πλακών ηλεκτροδίων.

6. Σε ορισμένες πραγματοποιήσεις, ο στύλος στήριξης, η μάζα στεγανοποίησης και το ένα ή περισσότερα ζεύγη πλακών ηλεκτροδίων σχηματίζονται από αγωγό ή ημιαγωγό υλικό και αγώγιμα καλώδια που συνδέονται στον στύλο στήριξης συνδέονται από τη μία πλευρά του υποστρώματος. Βγείτε έξω, τα αγώγιμα καλώδια που συνδέονται με το ένα ή περισσότερα ζεύγη ηλεκτροδίων οδηγούνται έξω από τη μία πλευρά της πλάκας καλύμματος.

7. Σε ορισμένες ενσωματώσεις, η πλάκα καλύμματος διαμορφώνεται με ένα άνοιγμα μεταξύ ενός ή περισσότερων ζευγών ηλεκτροδίων για την έκθεση του στύλου στήριξης και της μάζας στεγανοποίησης.

8. Σε ορισμένες πραγματοποιήσεις, το ύψος της μάζας στεγανοποίησης είναι χαμηλότερο από το ύψος ενός ή περισσότερων ζευγών πλακών ηλεκτροδίων.

9. Σε ορισμένες πραγματοποιήσεις, η μικροηλεκτρομηχανική συσκευή χρησιμοποιείται ως επιταχυνσιόμετρο και το ένα ή περισσότερα ζεύγη πλακών ηλεκτροδίων χρησιμοποιούνται για τη μέτρηση των αλλαγών στην χωρητικότητα λόγω αλλαγών στη θέση της μάζας απόδειξης.

10. Σε ορισμένες πραγματοποιήσεις, η μικροηλεκτρομηχανική συσκευή χρησιμοποιείται ως γυροσκόπιο και το ένα ή περισσότερα ζεύγη πλακών ηλεκτροδίων περιλαμβάνουν τουλάχιστον ένα πρώτο ζεύγος πλακών ηλεκτροδίων και ένα δεύτερο ζεύγος πλακών ηλεκτροδίων, το πρώτο ζεύγος πλακών ηλεκτροδίων για κίνηση Α Το σήμα εφαρμόζεται για να οδηγήσει τη μάζα απόδειξης να ταλαντωθεί μεταξύ του πρώτου ζεύγους πλακών ηλεκτροδίων και το δεύτερο ζεύγος πλακών ηλεκτροδίων χρησιμοποιείται για τη μέτρηση των αλλαγών στην χωρητικότητα λόγω αλλαγών στη θέση της μάζας απόδειξης.

Επικοινωνήστε μαζί μας:

Email: zhang@pride-cnc.com

Τηλ: συν 86-755-23699351

Mob: συν 8618666663894